XYステージ

ALD-6012-G0M-R

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ハイグレードXYステージ、精密ねじ仕様(対称型)
¥220,000
移動方向 XY軸2方向
移動量 ±12.5mm
ステージ面 60mm×60mm
YESRoHS対応状況

製品資料

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説明

HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性の自動ステージです。
精密ねじ仕様です。
カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。

仕様

移動方向 XY軸2方向
移動量 ±12.5mm
ステージ面 60mm×60mm
使用モータ PK523HPB相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)
分解能 0.001mm
送りねじ仕様 精密ねじ
送りねじリード 0.5mm
移動ガイド HG-VCR(V溝とクロスローラ)
移動精度HV 真直度(水平・垂直)0.002mm
移動精度YP ヨーイング20sec、ピッチング30sec
位置決め精度 0.014mm
繰り返し精度 ±0.0005mm
ロストモーション 0.005mm
運動の平行度 0.03mm
XY直交度 0.006mm
モーメント剛性 ヨー剛性 0.2sec/N・cm、ピッチ剛性 0.2sec/N・cm、ロール剛性 0.2sec/N・cm
耐荷重 39.2N(4kgf)
質量 1.0kg
最高速度 8mm/s(8,000pps時)
主要材質/表面処理 アルミ合金/黒アルマイト梨地
原点センサ ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
リミットセンサ ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
適合ケーブル ACB-BTM2、ACB-BTM3、ARC-BTM3
標準付属品 検査合格証
六角穴付ボルト(本体固定用)M4 4本
補足事項 ◆QT-Bシリーズ接続ステージ選択(パラメータNo.4): 36

接続方法 ―接続ケーブルとコントローラ・ドライバ―

センサ動作論理とタイミングチャート