製品情報

オートフォーカス顕微鏡

AF-72L

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オートフォーカス顕微鏡(広視野タイプ)
別途御見積
オートフォーカス顕微鏡 広視野モデル

製品資料

説明

●世界で唯一ラインセンサ(1次元イメージセンサ)を使用したオートフォーカスシステムです。
●反射率の高い金属面はもちろん、反射率の低い紙、フィルタなどにも対応し、ガラスや透明なプラスチックなどにも他方式にはないパフォーマンスを発揮します。
●高性能でありながら、苦手が少ないオートフォーカスシステムです。

仕様

対応対物レンズ ニコン、ミツトヨ
対応カメラ ラインスキャンカメラ、8Kまたは12Kカメラ
駆動部 分解能 0.078μm/1パルス
駆動部 移動量 標準4mm(10mmまで設定可能)
合焦方式 ラインセンサ方式
サーチ範囲 ±250μm(対物レンズ10×)
サーチタイム 0.3秒以内/サーチ(上記条件時)
付属品 センサ用ロボットケーブル、パターン用ロボットケーブル、モータ用ロボットケーブル 各3m(但し、15mまで対応可能)
対象試料 金属面、ガラス面、プラスチック面、紙など

説明写真

説明図

補足

性能比較