P偏光は、図3に示すようにPBS1を透過して1/4波長板を通り、直線偏光から円偏光になります。そして被測定物上に取り付けられたコーナーキューブプリズム(CC1)によってそのビームは反射され再び1/4波長板を透過してS偏光になります。
今度はPBS1で反射してCMOSに入ります。
CC1がSだけ変位するとビームはCMOS上で2S動くことになります。すなわち光学的に変位を2倍に拡大して分解能を上げているわけです。
次に、PBS1で反射されたS偏光は、偏光ビームスプリッタ(PBS2)で反射され、1/4波長板を通り円偏光になります。
そして被測定物上に取り付けられたミラー(M4)で反射されます。ビームは再び1/4波長板を通り、P偏光となりPBS2を透過してコリメータレンズ(L3)によりCCD上に焦点を結びます。
図4に示すようにオートコリメータの原理を利用してM4の傾きを検出します。L3の焦点距離をf とするとM4がθだけ傾いた時のビームの移動(d)は2θ fとなります。