ステージ用アクセサリ 関連

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吸着プレートについて

半導体やプリント基板、太陽電池、LEDなどの高性能化において、各部品の小型化・高精細化が進んでおり、基板の主流であるガラスが薄くなり、さらにはフィルムなどに代わってきています。

本製品は、ミクロン単位の均一な気孔を有した多孔質セラミックスを使用し、試料をたわませることなく吸着することができます。
また、従来は試料の大きさや形状に合わせて製作する必要もありましたが、多孔質セラミックスでの吸着では部分的な吸着も可能となります。

<従来型との特性比較>
 
 
 
 
多孔質セラミックスの気孔径は、約30μmで製作しています。平均気孔径約1μmの製品も製作可能です。
また、サイズも定盤サイズの大きなものまで製作可能ですので、大きいサイズをご要望の方はご相談下さい。
試料の吸着には真空ポンプ(空気源)が必要となります。真空ポンプによって吸着力なども違ってきます。
試料の仕様に合わせて多孔質セラミックスおよび真空ポンプの確認もさせていただきます。
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