製品情報

マイクロスキャニングステージ

MSS-150C

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マイクロスキャニングステージ
¥1,100,000
移動量 XY軸±75mm
ステージ面 280mm×230mm
分解能 0.002mm
YESRoHS対応状況

製品資料

※寸法記載がない部分はお問い合わせください。

説明

6インチ対応の移動量150mm×150mmの薄型軽量ステージです。
顕微鏡用途に対応するため薄型、軽量でありながら精度を妥協しておりません。
標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。
※ 透過照明で観察できる範囲は移動量よりも狭くなります。外観図のテーブル透過穴をご参照ください。

仕様

移動方向 XY軸2方向
移動量 XY軸±75mm
ステージ面 280mm×230mm
使用モータ PK523HPA(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)
分解能 0.002mm
送りねじ仕様 ボールねじ
送りねじリード 1mm
移動ガイド V溝とクロスローラ
移動精度 真直度0.010mm(水平)、0.015mm(垂直)
位置決め精度(1/10ストローク) X軸0.010mm、Y軸0.010mm
位置決め精度(フルストローク) X軸0.030mm、Y軸0.030mm
繰り返し精度 ±0.002mm
ロストモーション 0.003mm
耐荷重 49N(5kgf)
質量 5.1kg(アルミプレートを除く)
最高速度 16mm/s(8,000pps時)
主要材質/表面処理 アルミ合金/黒アルマイト梨地
原点センサ ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
リミットセンサ ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
適合ケーブル ACB-STM2、ACB-STM3
標準付属品 アルミプレート
六角穴付きボルト(アダプタ取付用)M4 4本
適合顕微鏡メーカー オリンパス
対応顕微鏡 MX50、MX61、MX61L、MX63、MX80、オプチフォト 150、エクリプス L150

接続方法

センサ動作論理とタイミングチャート

ドライバ写真

説明図

補足