XYステージ(製造中止品)

ALD-5012-G1M-S

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ハイグレードXYステージ、ボールねじ仕様 スケール付（標準型）
製造中止品
移動方向 XY軸2方向
移動量 ±10mm
ステージ面 50mm×50mm

製品資料

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説明

HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性の自動ステージです。
精密ねじ仕様、ボールねじ仕様、ボールねじ仕様 スケール付があります。
カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
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仕様

移動方向 XY軸2方向
移動量 ±10mm
ステージ面 50mm×50mm
使用モータ PK523HPB相当（5線式ペンタゴン結線、0.75A/相）
分解能 0.002mm
送りねじ仕様 ボールねじ
送りねじリード 1mm
移動ガイド HG-VCR（V溝とクロスローラ）
移動精度HV 真直度（水平・垂直）0.002mm
移動精度YP ヨーイング15sec、ピッチング25sec
位置決め精度 0.008mm
繰り返し精度 ±0.0003mm
ロストモーション 0.001mm
運動の平行度 0.02mm
XY直交度 0.006mm
モーメント剛性 ヨー剛性　0.3sec/N・cm、ピッチ剛性　0.4sec/N・cm、ロール剛性　0.4sec/N・cm
耐荷重 39.2N（4kgf）
質量 0.86kg
最高速度 16mm/s（8,000pps時）
主要材質/表面処理 アルミ合金／黒アルマイト梨地
原点センサ ノーマルクローズ接点（ブレーク接点、Ｂ接点）動作、フォトセンサ
リミットセンサ ノーマルクローズ接点（ブレーク接点、Ｂ接点）動作、フォトセンサ
適合ケーブル ACB-STM2、ACB-STM3
スケール型式 マーキュリー（テープスケール、ケーブル3m）
スケール分解能 5μm～0.05μm
スケール精度 ±60nm/0.02mm
補足事項 ◆QT-Aシリーズ接続ステージ選択（パラメータNo.4）： 36
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接続方法 ―接続ケーブルとコントローラ・ドライバ―

センサ動作論理とタイミングチャート

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