Xステージ

LS-242-MSC

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VCR 超精密X軸ステージ 130×200(マグネスケール付)
¥550,000
移動量 ±50mm
ステージ面 130mm×200mm
YESRoHS対応状況

製品資料

※寸法記載がない部分はお問い合わせください。

説明

移動ガイドにV溝とクロスローラ(V-CR方式)を使用した、超精密ステージです。
マグネスケール付(GB-010ER、(株)マグネスケール製)、多機能表示ユニット付
ワークの精密位置決め、測定機の試料台などの用途に広く利用いただけます。

仕様

ステージ面 130mm×200mm
クランプ方式 割締め式
操作部取付位置

移動機構/送り方式 手動送りねじ式、ねじピッチ1mm
移動量 ±50mm
移動量/ツマミ1回転 1mm
目量 バーニヤ読み0.05mm/スケール表示ユニット読み0.0005mm(0.5μm)
感度
移動ガイド V溝とクロスローラ
移動精度HV 真直度(水平・垂直)0.003mm
移動精度YP ヨーイング・ピッチング15sec
モーメント剛性 ヨー剛性 0.02sec/N・cm、ピッチ剛性 0.02sec/N・cm、ロール剛性 0.01sec/N・cm
平行度 0.03mm
耐荷重 294N(30kgf)
質量 8kg
主要材質/表面処理 鋼材/カニゼンメッキ(テーブル)、塗装(ベース)
標準付属品 検査合格証
六角穴付ボルト(本体固定用)M5 4本