XYZステージ、XYZ回転ステージ

TR-101-R1

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X・Y・Z・回転スリムステージ φ125
¥195,000
移動量 XY軸±12.5mm、Z軸0~10mm、回転 粗動360°微動±5°
ステージ面 φ125mm
YESRoHS対応状況

製品資料

※寸法記載がない部分はお問い合わせください。

説明

XY軸、Z軸、回転軸のスリムステージを組み合わせた、XYZ回転ステージです。
マイクロメータヘッドの向きを逆にしたタイプがあり、左右からの操作が可能です。
カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。

仕様

ステージ面 φ125mm
クランプ方式 XYZ軸 板クランプ、回転軸 複合クランプ
操作部取付位置 XY軸 逆サイド
移動機構/送り方式 XY軸 MHN1-25T、Z軸 CMH-13FM、回転軸 CMH-13RM(各軸標準マイクロメータ)
移動量 XY軸±12.5mm、Z軸0~10mm、回転 粗動360°微動±5°
移動量/ツマミ1回転 XYZ軸 0.5mm、回転軸 約0.39°
目量 XYZ軸 マイクロメータ式0.01mm、回転軸 バーニヤ読み5′/マイクロメータ式0.01mm(1目盛約0.008°)
感度 XYZ軸0.003mm
移動ガイド XY軸 V溝とクロスローラ、Z軸 V溝レールと鋼球、回転軸 すり合わせ式
移動精度  
移動精度HV 真直度 XY軸 0.003mm、真直度 Z軸 0.005mm、心円度 回転軸 0.05mm、面振れ 回転軸 0.03mm
XY直交度 0.02mm
耐荷重 29.4N(3kgf)
質量 6.6kg
主要材質/表面処理 XY軸 鋼材/硬質黒色クロム、Z軸回転軸 アルミ合金/黒アルマイト梨地