アライメントステージ

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ALV-7003-A1P
Zアライメントステージ
¥390,000
ステージ面 ：
70mm×70mm
分解能 ：

0.5μm

自動ステージ・アクチュエータ
ATR-7041-AL
薄型アライメントステージ
¥530,000
ステージ面 ：
70mm×70mm
分解能 ：

XY：2μm、 θ：0.002°

自動ステージ・アクチュエータ
ARS-C7010-AP
アライメントステージ用回転ステージ
¥260,000
ステージ面 ：
70mm×70mm
分解能 ：

0.002°

自動ステージ・アクチュエータ
ALD-7010-A1P
アライメントステージ用XYステージ
¥310,000
ステージ面 ：
70mm×70mm
分解能 ：

2μm

自動ステージ・アクチュエータ
ATD-C706A-AP
二軸傾斜アライメントステージ
¥550,000
ステージ面 ：
70mm×70mm
分解能 ：

上軸：0.000597°、下軸：0.000623°

自動ステージ・アクチュエータ
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