微型扫描平台

MSS-H200AD

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微型扫描平台
移动量 XY轴±100mm
平台面 356mm×356mm
分辨率 0.002mm

产品资料

特长

专为FA 用途设计的、可进行高速运行、急停、短时间整定的XY 自动平台。
重复进行高速移动、急停后约60ms 就能整定,因此对比如150mm×150mm 内的工件图案约1 万处的全数检查范围,约17 分钟即可扫描完毕。
重复精度±0.002mm,因此对高倍率显微镜视野内(约φ0.1mm)的位置也有充分的再现性。
与本公司产的超高速随动型自动对焦显微镜系统组合,可在外观检查等中发挥最高的性能。

规格

移动方向 XY 轴2 方向
移动量 XY轴±100mm
平台面 356mm×356mm
使用马达 与步进马达αSTEP AR46AA 相当的马达
分辨率 0.002mm
进给丝杆导程 2mm
移动导轨 V 型槽与交叉滚柱
移动精度 0.010mm(水平)、0.025mm(垂直)
定位精度(1/10行程) X轴0.015mm、Y轴0.015mm
定位精度(全行程) X轴0.060mm、Y轴0.050mm
重复精度 ±0.002mm
空程 0.003mm
承重 49N(5kg)
质量 MSS-H200A 约15kg、QT-ARD2 6.0kg
最高速度 100mm/s
主要材质/表面处理 铝合金/ 黑色氧化铝处理梨皮底
原点传感器 常闭接点(断开接点、B 接点)动作、光学传感器
限位传感器 常闭接点(断开接点、B 接点)动作、光学传感器
ドライバ型番 QT-ARD2
入力電源 AC100 ~ 115V 50/60Hz 最大6.0A
外形寸法(mm) W200mm×D280mm×H200mm(不含凸起部)
駆動軸数 2 轴
分解能切換 0.002mm(初始值)、(可用内部开关切换0.004mm、0.0004mm、0.0002mm)
入力信号 驱动脉冲
 ・脉冲方式:2 脉冲方式(初始值)、(可用内部开关切换1 脉冲方式)
 ・最大脉冲频率:上位控制器为线驱动器输出:500KHz(Duty50%时)
         上位控制器为开路集电极输出:250KHz(Duty50%时)
         负逻辑脉冲输入(初始值)
 ・脉冲电压:+5V
入力信号 驱动脉冲
 ・脉冲方式:2 脉冲方式(初始值)、(可用内部开关切换1 脉冲方式)
 ・最大脉冲频率:上位控制器为线驱动器输出:500KHz(Duty50%时)
         上位控制器为开路集电极输出:250KHz(Duty50%时)
         负逻辑脉冲输入(初始值)
 ・脉冲电压:+5V
適合ステージ MSS-H200A、MSS-H300A 专用
推奨コントローラ QT-AMH2、QT-ADM2
付属ケーブル AC 电缆、传感器电缆、马达电缆、QT-A 控制器连接用电缆

连接方法

传感器动作逻辑与时序图

补充

付属