Zステージ

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ALZ-6012-G1M-SA
ハイグレードZステージ、ボールねじ仕様 スケール付（標準型）
¥343,000
移動量 ：
±12.5mm
ステージ面 ：
60mm×60mm
分解能 ：

0.002mm

自動ステージ・アクチュエータ
ALZ-6012-G1M-RSA
ハイグレードZステージ、ボールねじ仕様　スケール付（対称型）
¥343,000
移動量 ：
±12.5mm
ステージ面 ：
60mm×60mm
分解能 ：

0.002mm

自動ステージ・アクチュエータ
ALZ-7013-G1M-RSA
ハイグレードZステージ、ボールねじ仕様　スケール付（対称型）
¥360,000
移動量 ：
±15mm
ステージ面 ：
70mm×70mm
分解能 ：

0.002mm

自動ステージ・アクチュエータ
ALZ-7013-G1M-SA
ハイグレードZステージ、ボールねじ仕様 スケール付（標準型）
¥360,000
移動量 ：
±15mm
ステージ面 ：
70mm×70mm
分解能 ：

0.002mm

自動ステージ・アクチュエータ
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