製品情報

オートフォーカス顕微鏡

AF-RF

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オートフォーカス顕微鏡(ステージ駆動タイプ)
別途御見積

製品資料

説明

●オンラインの加工・測定機に組み込み可能なコンパクトサイズです。
●(株)ニコン製対物レンズCF/ICシリーズ、CFI60シリーズ、オリンパス(株)製対物レンズUIS2シリーズに対応します。
当社自動XYステージMSSシリーズとの組み合わせでXYZオートシステムの構築が可能です。
●オートフォーカス顕微鏡はガラス・プラスチックなどの透明体表面に対して最適です。
●市販顕微鏡をオートフォーカス化できます。中央精機独自の薄型差込式駆動部により微動輪部分を改造せずに高速追従駆動が可能です。

※オートフォーカス顕微鏡カタログ(2017年9月発行、日本語・英語併記)はこちら(PDFダウンロード、約8Mバイト)からダウンロードできます(別ウインドウが開きます)。

仕様

対応対物レンズ ニコン、オリンパス
駆動部 分解能 0.078μm/1パルス
駆動部 移動量 2mm
合焦方式 ラインセンサ方式
サーチ範囲 ±250μm(対物レンズ20×)
サーチタイム 0.3秒以内/サーチ(上記条件時)
付属品 センサ用ロボットケーブル、パターン用ロボットケーブル、モータ用ロボットケーブル 各3m(但し、15mまで対応可能)
対象試料 金属面、ガラス面、プラスチック面、紙など

説明写真

説明図

補足