导向方式	移动精度	承重	刚性
V型槽与交叉滚柱（HG-VCR方式）	☆	☆	☆
V型槽与交叉滚柱（V-CR方式）	◎	◎	◎
滚柱滑道	◎	◎	◎
滚珠滑道	○	○	◎
滚珠导套	△	△	△
旋转轴承	◎	○	○

表１　案内方式の比較　　☆：秀　　◎：優　　○：良　　△：可

在光线拾取调整装置及光盘制造装置等需要调整角度的领域中被广泛使用的倾斜平台上采用新的驱动机构，制成了新的产品。
其驱动机构用本公司本次开发的“复合联轴器机构CCM”解决了以往倾斜平台的问题点，实现了高精度、高分辨率、耐久性、驱动扭矩的提高。

■蜗杆齿轮方式
这是利用蜗轮与蜗杆齿轮的一般的驱动机构。在倾斜平台上，将上工作台的一部分制成蜗轮形状，用蜗杆齿轮驱动。
这种机构要么具有一定量的背隙，要么不充分进行研磨调整，动作时蜗杆齿轮就会变重，或者由于蜗杆齿轮的偏心而产生转矩不均匀。
另外，蜗轮与蜗杆齿轮的滑动面少，所以耐磨损性也有问题。

■执行器＋弹簧方式
这是使用了执行器与弹簧的一般的微动倾斜平台所采用的驱动机构。
用执行器推出上工作台，用弹簧使上工作台回到执行器侧，消除背隙。
这种机构的问题是，如果弹簧力强，执行器承受的负荷变重，驱动时的负荷变大，工作台就变重，或者如果弹簧力弱，工作台就无法返回。

“复合联轴器机构”的驱动采用了进给丝杆与特殊的连接部件，与以往的技术相比，具有以下特长。

●比蜗杆齿轮方式的分辨率高。
●利用特殊连接部件的自由移动吸收旋转不均匀。
●驱动扭矩小，因此可实现平滑的动作。
●比蜗杆齿轮的滑动面多，因此能提高耐久性。
●不使用弹簧，因此能实现可靠地进给。
●变更进给丝杆的导程即可变更分辨率或移动速度。

由于将直线轨道转换成圆弧轨道了，所以进给丝杆的移动量与实际移动的倾斜部分之间存在沿着正切曲线的角度误差，进给丝杆与倾斜部分的距离存在沿着正弦曲线的角度误差。
但是，现实当中，移动量±3°以内的定位误差是很微小的，即使移动量±5°以内，也比蜗杆齿轮方式的定位少。
另外，还能通过校准实现高精度的定位。

本“复合联轴器机构”已注册了“工作台姿态调整装置　专利第3848304号”的专利。