レーザーミラー

ELMR-193-25

1
エキシマレーザーミラー(193nm)
¥53,000
種別 エキシマレーザーミラー(ELMR)
外形D(mm) φ25
設計波長 193nm
YESRoHS対応状況

製品資料

説明

紫外光を出射するエキシマレーザー用にデザインされたレーザーミラーです。基板には熱的安定性に優れた合成石英ガラスを使用しています。基板面精度1/10λを実現する高精度研磨加工により、光の反射面の歪みや散乱を低く抑えます。設計波長において97-99.5%以上の高反射特性を実現。同波長においては、反射特性の偏光依存性はほとんどありません

仕様

種別 エキシマレーザーミラー(ELMR)
コーティング 誘電体多層膜コーティング
設計波長 193nm
反射率(%) >97(@設計波長)
レーザー耐力 1.5J/cm2(10nsパルス)
外形D(mm) φ25
外形公差(mm) 0
板厚(mm) 6
板厚公差(mm) ±0.2mm
材質 合成石英
材質(熱膨張係数) 0.55×10-6/℃
設計入射角 45°
有効径(mm) 22.5
基板面精度 λ/10(@632.8nm)
表面品質(キズ-ブツ) 10 - 5
平行度 <3′
基板裏面 砂面

分光特性表

仕様図