高精度高刚性平台

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ALZ-903-H1S
Z 平台　高精度高刚性型
移动量 ：
±15mm
平台面 ：
90mm×100mm
分辨率 ：

2 μm

自动平台
ALZ-510-H1S
Z 平台　高精度高刚性型
移动量 ：
±50mm
平台面 ：
150mm×200mm
分辨率 ：

2 μm

自动平台
ALZ-105-H1S
Z 平台　高精度高刚性型
移动量 ：
±25mm
平台面 ：
125mm×160mm
分辨率 ：

2 μm

自动平台
ALD-903-H1S
XY 平台　高精度高刚性型
移动量 ：
±15mm
平台面 ：
90mm×100mm
分辨率 ：

2 μm

自动平台
ALD-510-H1S
XY 平台　高精度高刚性型
移动量 ：
±50mm
平台面 ：
150mm×200mm
分辨率 ：

2 μm

自动平台
ALD-105-H1S
XY 平台　高精度高刚性型
移动量 ：
±25mm
平台面 ：
125mm×160mm
分辨率 ：

2 μm

自动平台
ALS-903-H1S
X 平台　高精度高刚性型
移动量 ：
±15mm
平台面 ：
90mm×100mm
分辨率 ：

2 μm

自动平台
ALS-510-H1S
X 平台　高精度高刚性型
移动量 ：
±50mm
平台面 ：
150mm×200mm
分辨率 ：

2 μm

自动平台
ALS-105-H1S
X 平台　高精度高刚性型
移动量 ：
±25mm
平台面 ：
125mm×160mm
分辨率 ：

2 μm

自动平台
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