滚珠导套平台

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Z 平台
移动量 :
±30mm
平台面 :
90mm×90mm
分辨率 :

2 μm

Z 平台
移动量 :
±20mm
平台面 :
60mm×60mm
分辨率 :

2 μm

Z 平台
移动量 :
±75mm
平台面 :
125mm×125mm
分辨率 :

2 μm

XY 平台
移动量 :
±30mm
平台面 :
90mm×90mm
分辨率 :

2 μm

XY 平台
移动量 :
±20mm
平台面 :
60mm×60mm
分辨率 :

2 μm

XY 平台
移动量 :
±75mm
平台面 :
125mm×125mm
分辨率 :

2 μm

ALS-906-E1P
X 平台
移动量 :
±30mm
平台面 :
90mm×90mm
分辨率 :

2 μm

ALS-604-E1P
X 平台
移动量 :
±20mm
平台面 :
60mm×60mm
分辨率 :

2 μm

ALS-115-E1P
X 平台
移动量 :
±75mm
平台面 :
125mm×125mm
分辨率 :

2 μm

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