アライメントステージ -中央精機株式会社 | 精密ステージユニット、光学関連機器-

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薄型アライメントステージ

¥530,000

薄型微調整用自動XYθステージです。
XYθが独立して駆動、制御可能です。
電子部品、パネルのアライメントに最適です。
画像処理装置、検査装置などの試料の位置決めに使用できます。

移動方向	XYθ軸3方向
移動量	XY：±5mm、θ：±5°
ステージ面	70mm×70mm
使用モータ	PK523HPB相当
分解能	XY：2μm、 θ：0.002°
移動機構/送り方式	ボールねじ　リード1mm
移動ガイド	XY：V溝とクロスローラ、θ：クロスローラベアリング
移動精度HV	XY：真直度（水平・垂直） 1μm
繰り返し精度	XY：±1μm、θ：±0.001°
心振れ	θ：3μm
面振れ	θ：5μm
ロストモーション	XY：2μm、 θ：0.005°
耐荷重	68.6N（7kgf）
質量	1.7kg
最高速度	XY：10mm/s、θ：10°（5,000pps時）
主要材質/表面処理	アルミ合金／黒アルマイト梨地
原点センサ	ノーマルクローズ接点（ブレーク接点、Ｂ接点）動作、フォトセンサ
リミットセンサ	ノーマルクローズ接点（ブレーク接点、Ｂ接点）動作、フォトセンサ
標準付属品	六角穴付きボルト（取付ねじ）本体固定用M4　　4本
接続ステージ選択 (パラメータNo.4)	36
補足事項	原点復帰開始方向の設定（※必ず変更してください）対象パラメータ：No. 05 設定変更：初期値「0」⇒「3」 ※この設定を変更しない場合、原点復帰エラーが発生し、原点復帰が完了しません。