アライメントステージ -中央精機株式会社 | 精密ステージユニット、光学関連機器-

製品情報

アライメントステージ

ALD-7010-A1P

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アライメントステージ用XYステージ

¥310,000

移動方向	XY軸2方向
移動量	±5mm
ステージ面	70mm×70mm

製品資料

寸法記載がない部分はお問い合わせください。

説明

薄型微調整用自動XYステージです。
XYステージが一体になっているため、薄くなっています。
XYが独立して駆動、制御可能です。
±5mm移動できます。

仕様

移動方向	XY軸2方向
移動量	±5mm
ステージ面	70mm×70mm
使用モータ	PK523PB相当
分解能	2μm
移動機構/送り方式	ボールねじ　リード1mm
移動ガイド	V溝とクロスローラ
移動精度HV	真直度（水平・垂直）1μm
繰り返し精度	±1μm
ロストモーション	2μm
耐荷重	68.6N（7kgf）
質量	1.2kg
最高速度	10mm/s（5,000pps時）
主要材質/表面処理	アルミ合金／黒アルマイト梨地
原点センサ	ノーマルクローズ接点（ブレーク接点、Ｂ接点）動作、フォトセンサ
リミットセンサ	ノーマルクローズ接点（ブレーク接点、Ｂ接点）動作、フォトセンサ
標準付属品	六角穴付きボルト（取付ねじ）本体固定用M4　　4本
接続ステージ選択 (パラメータNo.4)	36
補足事項	原点復帰開始方向の設定（※必ず変更してください）対象パラメータ：No. 05 設定変更：初期値「0」⇒「3」 ※この設定を変更しない場合、原点復帰エラーが発生し、原点復帰が完了しません。

接続方法 ―接続ケーブルとコントローラ・ドライバ―

センサ動作論理とタイミングチャート

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