アライメントステージ -中央精機株式会社 | 精密ステージユニット、光学関連機器-

製品情報

アライメントステージ

ARS-C7010-AP

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アライメントステージ用回転ステージ

¥260,000

移動方向	回転方向
移動量	±5°
ステージ面	70mm×70mm

製品資料

寸法記載がない部分はお問い合わせください。

説明

薄型微調整用自動回転ステージです。
XYステージと組み合わせたときに全高が低くなるよう設計しました。
±5°移動できます。

仕様

移動方向	回転方向
移動量	±5°
ステージ面	70mm×70mm
使用モータ	PK523HPB相当
分解能	0.002°
移動機構/送り方式	ボールねじ　リード1mm
移動ガイド	クロスローラベアリング
繰り返し精度	±0.001°
心振れ	3μm
面振れ	5μm
ロストモーション	0.005°
耐荷重	68.6N（7kgf）
質量	0.5kg
最高速度	10°/s（5,000pps時）
主要材質/表面処理	アルミ合金／黒アルマイト梨地
原点センサ	ノーマルクローズ接点（ブレーク接点、Ｂ接点）動作、フォトセンサ
リミットセンサ	ノーマルクローズ接点（ブレーク接点、Ｂ接点）動作、フォトセンサ
接続ステージ選択 (パラメータNo.4)	36
補足事項	原点復帰開始方向の設定（※必ず変更してください）対象パラメータ：No. 05 設定変更：初期値「0」⇒「3」 ※この設定を変更しない場合、原点復帰エラーが発生し、原点復帰が完了しません。

接続方法 ―接続ケーブルとコントローラ・ドライバ―

センサ動作論理とタイミングチャート

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