アライメントステージ

ATD-C706A-AP

0
二軸傾斜アライメントステージ
¥550,000
移動方向 傾斜2方向
移動量 ±3°
ステージ面 70mm×70mm

製品資料

  • 図面PDF
  • 図面DXF
  • 図面3D STEP
  • 図面3D PARASOLID
  • 寸法記載がない部分はお問い合わせください。

▲PAGE TOP

説明

高精度、高性能を誇る精密型自動ステージです。
原点・リミットセンサを標準で装備。
付属のスペーサを取り付ける事でアライメントステージ ATR-7041-ALの上部に取り付け可能。
別売の各種自動コントローラに対応。
▲PAGE TOP

仕様

移動方向 傾斜2方向
移動量 ±3°
ステージ面 70mm×70mm
使用モータ PK523HPB相当
分解能 上軸：0.000597°、下軸：0.000623°
移動機構/送り方式 複合カップリング方式／送りねじ
移動ガイド V溝とクロスローラ
繰り返し精度 ±0.002°
ロストモーション 0.006°
耐荷重 14.7N（1.5kgf）
質量 0.9kg
最高速度 3°/s（5,000pps時）
主要材質/表面処理 鋼材／黒色酸化クロム、アルミ合金／黒アルマイト梨地
原点センサ ノーマルクローズ接点（ブレーク接点、Ｂ接点）動作、フォトセンサ
リミットセンサ ノーマルクローズ接点（ブレーク接点、Ｂ接点）動作、フォトセンサ
標準付属品 六角穴付きボルト（取付ねじ）本体固定用M4　4本
ステージ組み合わせ用スペーサ　2枚
接続ステージ選択
(パラメータNo.4)		 36
補足事項 原点復帰開始方向の設定
対象パラメータ：No. 05
設定変更：初期値「0」⇒「3」
※この設定を変更しない場合、原点復帰エラーが発生し、原点復帰が完了しません。
▲PAGE TOP

接続方法 ―接続ケーブルとコントローラ・ドライバ―

センサ動作論理とタイミングチャート


関連製品

▲PAGE TOP
製品に関するお問合わせはこちら お問合わせフォーム
カタログのご請求はこちら カタログ請求フォーム