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極限の高さ分解能 見えなかった『高さ』が確かなデータになる！
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導入のメリット
■高分解能で信頼性向上
微細な表面性状の変化を正確に検出し、製品の信頼性を大幅に向上します。
■幅広い多彩なニーズに対応
用途や予算に応じて、最適なソリューションを提供します。
■柔軟なサポート体制
ソフトウェアのカスタマイズや解析支援も柔軟に対応します。
特長
■光干渉方式による高速・高精度な測定を実現
■独自アルゴリズムで広範囲測定と極限の高さ分解能を確保
■用途に合わせて最適化できる多彩な測定モード
■高度な解析を支える充実のソフトウェアモジュール
■安定性と精度を兼ね備えた高性能ハードウェア構成
導入をおすすめする部門
●研究開発部門
表面性状の評価で製品性能向上
●製造部門
製品の品質管理を強化し不良削減
●技術部門
検査の標準化・効率化を推進
機器構成
| 主要機能 |
OptoNume M7000 |
| 測定部筐体 |
門型フレーム構造 |
| 撮像カメラ |
2048×2048画素 モノクロカメラ
＊カラータイプも選択可能・ソフトウェア起動時に1024×1024画素への切り替えが可能 |
| 測定用対物レンズ |
Nikon製二光束干渉対物レンズ |
| ピエゾ走査範囲 |
100 μm（実効走査範囲：88 μm） |
| Z軸駆動 |
電動（実効移動量：98 mm） |
| XY軸駆動 |
電動 300×300 mm |
電動 450×450 mm |
| チルト機構 |
自動三軸（±2 °） |
| コンピュータ／モニタ（専用ラック付き） |
ノート型PC（仕様規定有り ／ OS：Windows11）／ 27型ワイドモニタ |
| 除振機構 |
中型パッシブ専用除振台 |
大型パッシブ専用除振台 |
| ウエハローダ |
8インチ ／ 12インチ |
N/A |
ソフトウエア構成
| 機能 |
ソフトウエア型式・名称 |
| 制御管理 |
OPN100
オプトニュームベース |
| 高さ画像取得 |
VIG300
垂直走査画像生成3 |
画像・数値データ
保存管理 |
IDB100
イメージデータベース |
| 画像測定 |
IAP100
画像解析プラットフォーム |
| 画像表示 |
3DC100
三次元等高線表示 |
| 形状解析 |
PAA100：パターン解析
FGA100：形状解析 |
| 構造解析 |
LSA100：層構造解析 |
| ユーティリティ |
SLI100：サンプルローディングインターフェース ／ MSC100：参照面補正 |
太字表記：必須ソフトウエア
性能
| 性 能 |
M7000 |
| 実効高さ分解能 |
0.015 nm ※1 |
| 段差測定再現性 |
σ：8 nm（8 μm標準段差片） |
| 測定可能最大高さ |
対物レンズの作動距離と
88 μmの小さい方 |
対物レンズの作動距離以下
（2.5×干渉対物レンズ使用時 10 mm） |
| 測定時間 |
7.0 秒以下
（＊操作範囲：±5 μm・サンプリング間隔：20 nm） |
※1 環境振動基準VC-C 以下の環境に設置し、既定の除振機構上で測定した場合
干渉対物レンズ（二光束干渉対物レンズ）
| モデル |
マイケルソン型 |
ミラウ型 |
| 倍率 |
2.5× |
5× |
10× |
20× |
50× |
100× |
| 開口数（NA） |
0.075 |
0.13 |
0.3 |
0.4 |
0.55 |
0.7 |
| 作動距離（mm） |
10.3 |
9.3 |
7.4 |
4.7 |
3.4 |
2.0 |
| 焦点深度（μm） |
48.5 |
16.2 |
3.3 |
1.71 |
0.90 |
0.56 |
| 視野範囲（μm） |
4448 ×
4448 |
2224 ×
2224 |
1112 ×
1112 |
555 ×
555 |
222 ×
222 |
111 ×
111 |
画素分解能（μｍ）
（2048×2048画素の場合） |
2.18 |
1.09 |
0.55 |
0.28 |
0.11 |
0.06 |
●焦点深度＝±1/2×λ/(NA)2、λ=0.55 nmで算出しています。
●視野範囲はNIKON製干渉対物レンズ及び当社規定のカメラ（1インチ）、Cマウントアダプタ1×を搭載した場合の値となります。
サポート体制
光干渉顕微鏡システムは、システム統合＆総販売元である当社とソフトウェア設計＆開発・販売を手がける株式会社ATNとの連携により、ハードウェア・ソフトウエア両面で迅速かつ的確なサポートを提供します。
営業活動・ＰＲ / 見積作成
デモンストレーション・評価 / 成約 / 納品 |
保守サービス / 修理 |
| 中央精機株式会社 |
・販売に関する問い合わせ・見積
・実機評価
・売買契約
・納品作業
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・出張校正サービス
・機器修理 |
| 株式会社ＡＴＮ |
・技術サポート
・実機評価サポート |
年間ソフトウェア保守契約（有償）締結時
・リモート技術サポート
・ソフトウェアアップグレード
・リモートメンテナンスサポートシステム
による操作説明、トラブル対応
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