アライメントステージ -中央精機株式会社 | 精密ステージユニット、光学関連機器-

製品情報

アライメントステージ

ALV-7003-A1P

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Zアライメントステージ

¥390,000

移動方向	Z軸1方向
移動量	±1.5mm
ステージ面	70mm×70mm

製品資料

寸法記載がない部分はお問い合わせください。

説明

薄型微調整用自動Z軸ステージです。
XYステージと組み合わせたときに全高が低くなるよう設計しました。
±1.5mm移動できます。

仕様

移動方向	Z軸1方向
移動量	±1.5mm
ステージ面	70mm×70mm
使用モータ	PK523HPB相当
分解能	0.5μm
移動機構/送り方式	ボールねじ　リード1ｍｍ
移動ガイド	V溝とクロスローラ
位置決め精度	20μm
繰り返し精度	±1μm
ロストモーション	3μm
耐荷重	17.4N（1.5kgf）
質量	0.8kg
最高速度	2.5mm/s（5,000pps時）
主要材質/表面処理	アルミ合金／黒アルマイト梨地、鋼材／黒色酸化クロム
原点センサ	ノーマルクローズ接点（ブレーク接点、Ｂ接点）動作、フォトセンサ
リミットセンサ	ノーマルクローズ接点（ブレーク接点、Ｂ接点）動作、フォトセンサ
標準付属品	六角穴付きボルト(取付ねじ)本体固定用M4　4本

接続方法 ―接続ケーブルとコントローラ・ドライバ―

センサ動作論理とタイミングチャート

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