製品資料
※寸法記載がない部分はお問い合わせください。
説明
FA用途を強く意識した、高速、急停止、短時間整定が可能なXY自動ステージです。
高速移動、急停止の繰り返しをした場合に、約60msで整定するため、例えば150mm×150mm内のワークパターン約1万箇所の全数検査範囲を約17分で走査可能です。
繰り返し精度±0.002mmのため、高倍率顕微鏡視野内（約φ0.1mm）の位置再現性も十分にあります。
当社製の超高速追従型オートフォーカス顕微鏡システムと組み合わせることで、外観検査などに最高のパフォーマンスを発揮します。
※RoHS指令の規制6物質に関しての不使用(不含有)に該当する製品です。