ステージ取り付け部付近に設けたお客様が設けた基準面と、ステージの走りが平行となるようダイヤルゲージを使用して、ステージを矢印方向へ動かしながら平行度を測定し、ダイヤルゲージの変位が最小となるよう取り付けて下さい。

ハイグレードステージは、下図のような加工基準面を持っています。

ステージを設置する際に、設置したい箇所の基準面や基準ピンなどに、この加工基準面を突き当てて取り付けることで、簡易的に平行を合わせて設置することが可能です。

自動ステージをご使用の際は、使用環境にもご注意ください。温度の極端に高いところや低いところ、温度変化の激しいところ、ほこりの多いところなどでの使用は避け、下記の温度／湿度でご使用ください。

【温度】10 ～ 40℃
【湿度】20 ～ 80%RH

真空のレベルを表す単位は、バール（Bar）、パスカル（Pa）、トール（Torr）がありますが、最近は長年親しまれた、トール（Torr）からSi単位のパスカル（Pa）に移行しつつあります。

【101325Pa 】大気圧
【およそ100Paまで】低真空 真空パックレベル
【およそ10^-1Paまで】中真空 魔法瓶レベル
【およそ10^-5Paまで】高真空 電子顕微鏡で扱う、または国際宇宙ステーションがある環境
【およそ10^-7Paまで】超高真空 放射光施設で扱う、または人工衛星がある環境
【それ以上 極高真空】宇宙空間、恒星間等

別途仕様打合せにより10^-5Paまで対応いたします。 また、それ以上の超高真空に関しましては詳細打合せの上、条件付にて対応可能な場合がありますので、別途ご相談下さい。

基本的にオーダーメイドではありますが、以下のような対応にて比較的短納期、低価格にて御提供が可能です。

・標準品をベースとして、外装、モータ、グリースを真空仕様にして対応。
・真空圧力10^-5Paに対応。
・真空対応リミットスイッチを装備。
・真空グリースは高真空用のフォンブリンのワイバック（Y-HVAC 140/13）を使用。
・四重極形質量分析計により真空中での放出ガスの評価を行いQ-massデータを提出することも可能。（オプション）
・TiNコートも対応可能。（オプション）
・真空チャンバーメーカーとのタイアップによりチャンバー自体もオーダーメイド可能。